Istilah "pemurnian" mempunyai sejarah panjang dalam bahasa Cina, awalnya berarti "membuat bersih dan murni," dan secara luas merujuk pada semua proses dan teknologi untuk menghilangkan kotoran dan menghilangkan polusi. Istilah bahasa Inggris yang sesuai mencakup "purification" (menekankan kemurnian) dan "clean" (menekankan kebersihan). Oleh karena itu, ungkapan bahasa Inggris untuk rekayasa ruang bersih mencakup antara lain "Rekayasa Pemurnian", "Teknik Bersih", atau "Teknologi Ruang Bersih". Makna luas ini menentukan bahwa teknik ruang bersih memiliki konotasi berbeda dalam berbagai disiplin ilmu.
Rekayasa ruang bersih modern, dengan inti teknologi ruang bersih, dimulai pada tahun 1950-an. Selama Perang Korea, militer AS menemukan bahwa banyak instrumen elektronik sering tidak berfungsi karena masuknya debu, yang mendorong pengembangan teknologi pemurnian udara, khususnya penelitian dan penerapan filter-udara partikulat efisiensi tinggi (HEPA). Pada tahun 1961, Willis Whitfield dari Sandia National Laboratories mengusulkan skema organisasi aliran udara bersih "aliran laminar" (sekarang secara resmi disebut "aliran searah") yang memungkinkan ruang bersih mencapai tingkat kebersihan yang belum pernah terjadi sebelumnya. Pada tahun yang sama, Angkatan Udara AS merilis standar ruang bersih pertama di dunia, dan pada tahun 1963, Standar Federal AS FED-STD-209 diterbitkan, menandai pembentukan awal sistem teknologi ruang bersih. Selanjutnya, dengan pesatnya perkembangan industri seperti sirkuit terpadu dan biomedis, teknologi rekayasa ruang bersih terus berinovasi dan berkembang.
Di Tiongkok, "Kode Desain Kamar Bersih" (GBJ 73-84) diundangkan pada tahun 1984, dan "Kode Konstruksi dan Penerimaan Kamar Bersih" (JGJ 71-90) diumumkan secara resmi pada tahun 1990. Setelah beberapa kali revisi, sistem standar nasional dengan "Kode Desain Kamar Bersih" GB 50073-2013 sebagai intinya telah dibentuk. Secara internasional, rangkaian standar ISO 14644, yang disusun oleh komite teknis ISO/TC209, adalah pedoman umum untuk ruang bersih dan lingkungan terkendali terkait. negara saya telah mengadopsi standar ini dan menerapkannya sebagai seri GB/T 25915.